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電子工業(yè)生產(chǎn)中所需的高純氣體

隨著現(xiàn)代分析儀器的發(fā)展，國外對高純氣體的分析經(jīng)歷了離線分析(off-line)、在線分析(on-line)和原位分析(in-situ)三個階段。我國在高純氣體分析方面，也已進(jìn)入在線分析階段，且分析檢測的靈敏度高，可以實(shí)現(xiàn)氣體中痕量金屬雜質(zhì)的分析測試 。然而，由于一些氣態(tài)樣品不能直接導(dǎo)入分析儀器進(jìn)行金屬成分的測量，特種氣體廠家直銷，一般需要把氣體樣品先進(jìn)行液體化，即將含有金屬雜質(zhì)的氣體樣品捕集到溶液中，以該溶液為樣品，才能選定合適的檢測手段進(jìn)行分析。由于高純氣體中的金屬雜質(zhì)含量低至ppb至ppt級，因此，對測定時使用的取樣方法(防止樣品污染)、檢測方法以及分析測試儀器(靈敏度和檢測限等)均提出了更高的操作要求。本文綜述了電子氣體中金屬雜質(zhì)的一些捕集方法以及幾種不同的檢測方法。

特種氣體興起于60年代中期，作為基礎(chǔ)化工材料，主要運(yùn)用于大型石油化工、半導(dǎo)體器件、光導(dǎo)纖維、激光、醫(yī)1學(xué)科學(xué)、臨床診斷、醫(yī)1藥消毒、水果催熟、食品保鮮等領(lǐng)域。隨著新產(chǎn)品技術(shù)的發(fā)展，其應(yīng)用范圍也越來越廣泛。在國民經(jīng)濟(jì)高速發(fā)展及下游1行業(yè)的強(qiáng)勁需求下，我國特種氣體行業(yè)在2006年后進(jìn)入快速發(fā)展階段，特種氣體公司，年均增速達(dá)到17%以上。2011年，國內(nèi)特種氣體行業(yè)產(chǎn)值規(guī)模為296.88億元，較上年增長22.15%；銷售收入為297.52億元，東莞特種氣體，較上年增長21.64%。

特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域，特種氣體價格多少，特別是在超大的規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。高純電子特種氣體被形容為半導(dǎo)體工業(yè)的”血液”和”糧食”，是大規(guī)模集成電路、多晶硅、太陽能、光纖等先進(jìn)制造業(yè)的重要原材料，屬于國家加快扶持發(fā)展的戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)。然而早些年，相關(guān)產(chǎn)品被國外壟斷，市場定價權(quán)掌握在國外廠商手中。

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